废水循环利用系统流程包括:

    主要流程包括：第一级沉淀池—>第二级沉淀池—>过滤器

    第一级沉淀池具有与中等水质用水和低等水质用水的废水出口相连的第一级废水接收口以及将沉淀后排除的废水由第一级沉淀池出口排出；

    第二级沉淀池具有与第一级沉淀池出口相连的第二级沉淀池入口以和第二级废水接收口；高中低等水质用水环节是根据单多晶硅片制造过程中各用水环节对水质的要求而划分。

    废水循环利用系统流程对单多晶硅片制造过程中的废水进行回收并处理之后应用于该制造过程,减小了制造过程中的自来水消耗。